修理(Repair)

半導体装置関連修理

Robot修理 RF電源 ポンプ修理

修理項目:電源(DC電源、RF電源、AC電源)、真空搬送ロボット(ウェハ搬送ロボット、各装置内で使用ロボット)、真空ポンプ(ターボーポンプ、クライオポンプ等)、モーター、ドライバー、マスフローコントローラー、ロボットコントローラー、真空計等の半導体工場設備関連。

修理方法:全体のメンテランス、Case by Case、オーバーホール(OH)。修理の実績がたくさんあり、お客さんの要望に応じ最適な提案を提供致します。修理できなければ、調達の提案を提供も可能です。なんでもご相談ください。

修理品リスト: